許多三維形狀測量機(jī)采用白光干涉技術(shù)。白光干涉法是一種利用白光干涉儀的測量方法。光學(xué)干涉是光從物體表面到某一點(diǎn)的距離存在差異時(shí)發(fā)生的現(xiàn)象。光學(xué)干涉儀利用這一現(xiàn)象，用于測量表面不規(guī)則性等。

由于光的干涉，因樣品表面不平整而產(chǎn)生的光程差，呈現(xiàn)出條紋狀圖案。條紋的數(shù)量表示樣品表面不平整的高度。實(shí)際操作中，使用內(nèi)置參考鏡（稱為干涉鏡）的物鏡，將白光照射到參考鏡和物鏡上，上下移動(dòng)物鏡的同時(shí)用相機(jī)觀察干涉信號(hào)。

一些相機(jī)還配有高靈敏度 CMOS。 CMOS是一種將通過鏡頭進(jìn)入的光轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的半導(dǎo)體。采用CMOS的固體攝像元件，可以在拍攝形狀的同時(shí)拍攝外觀照片，從而可以同時(shí)進(jìn)行表面觀察和測量。分析結(jié)果被轉(zhuǎn)換成3D模型等數(shù)據(jù)，可以使用CAD進(jìn)行查看。